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硅片酸洗工艺中的防腐利器

日期:2024-04-23   来源:本站原创   作者:志盛威华   点击:

硅片的酸洗工艺是半导体制造过程中的重要环节,用于去除硅片表面的杂质和氧化物。然而,酸洗过程中会产生废水和设备腐蚀的问题, 为了解决这些问题,选择合适的防腐涂料进行防护变得尤为重要。

在硅片的清洗、制绒、扩散制结、刻蚀等工序中会使用硝酸、氢氟酸、强碱,会产生大量的含氟酸性废水,污水池中的污水成分较为复杂,且都可能被氟离子污染。F是一种非金属化学元素,属于卤素,氟是已知物质中氧化性最强的物质之一。F的原子半径极小,具有强烈的得电子倾向,能渗透金属表面形成的氧化膜,自身参与的反应很少有沉淀产生,且F单质可与水反应生成氢氟酸,因此,F-的腐蚀是目前世界上最为头疼的腐蚀之一。

混凝土结构的污水池,,HF酸会轻松破坏混凝土层,造成大面积渗漏。ZS-1033耐氢氟酸防腐涂料,酚醛树脂嫁接氟离子改性而成为成膜溶液,以重晶石、鳞片状石墨等为填料,形成的涂层致密性高,具有优良的化学稳定性,可以有效阻止氢氟酸分子和离子的渗透。对于污水池和金属设备的防护是一种有效的防腐涂层。


这种涂料能够广泛应用于各种需要抵御氢氟酸腐蚀的场合,如石英砂酸洗池、金属酸洗设备、含氟废水池以及高温含氟烟气管道等,为设备提供长期的防腐保护,延长其使用寿命,减少维修和更换的频率。

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