三氯硅烷生产过程中的防护问题及解决建议

三氯氢硅是一种无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂；是一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体，具有毒性。同时也是生产多晶硅和硅烷偶联剂的原材料。

三氯硅烷的生产常用的两种工艺包括：工业硅粉和氯化氢流化床锅炉反应的硅氢氯化法，以及多晶硅还原和硅氢氯化法生产副产物四氯化硅的加氢还原法。主要还是以硅氢氯化法为主，但是生产过程中由于工艺及原料的特性，存在以下几个问题：

（1） HCl货硅粉干燥不彻底，含水量高存在冷凝酸腐蚀；

（2） 硅粉沉积，影响换热，导致局部超温；

（3） 硅粉进料口出换热管长期磨损减薄、泄漏；

针对上述问题，选用涂层增强材料是一种比较合适的辅助措施，但是相应的要求涂层具有耐高温＞400℃，耐磨性好，耐液态冷凝酸腐蚀、自己防粘附性好以及高导热性，减少对基材换热影响。因此推荐选用ZS-722导热防腐涂料和ZS-1031耐磨防腐涂料两款。